靶坯作為靶材的核心部分，是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料，在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子會(huì)被濺射飛散出來并沉積于基板上形成電子薄膜；背板主要起固定濺射靶材的作用，一般需要具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能。
濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。濺射靶材對金屬材料純度的要求較高。平面顯示面板用的高純鉬靶（>99.97%）、ITO 靶（>99.99%）等，國內(nèi)上游企業(yè)已具備相對成熟的提純技術(shù)，可以滿足靶材的制造要求。
對于半導(dǎo)體芯片用的超高純靶材（99.999%以上），國內(nèi)上游廠商的金屬提純技術(shù)有限，因此當(dāng)前主要依賴國外（美國、日本）進(jìn)口的高純金屬。
(資料圖)
濺射靶材主要的應(yīng)用場景包括半導(dǎo)體芯片、平面顯示器、太陽能電池和信息存儲(chǔ)等。半導(dǎo)體芯片對濺射靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等方面有較高的要求；在平面顯示器、太陽能電池領(lǐng)域，隨著靶材尺寸的增大，靶材的焊接結(jié)合率和平整度等需達(dá)到更高的標(biāo)準(zhǔn)。
據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院2023 年數(shù)據(jù)顯示，目前在濺射靶材的應(yīng)用分布上，平板顯示占比 34%左右，信息存儲(chǔ)約占 29%，太陽能電池和半導(dǎo)體芯片分別占比 18%和 11%。
我國靶材市場規(guī)模持續(xù)增長
靶材及超高溫特種功能材料行業(yè)作為電子材料的子行業(yè)，屬于國家重點(diǎn)鼓勵(lì)、扶持的戰(zhàn)略性新興行業(yè)。近年來，為了鼓勵(lì)國內(nèi)靶材行業(yè)的發(fā)展以及加快核心材料的國產(chǎn)替代進(jìn)程，我國出臺了一系列政策措施。靶材作為半導(dǎo)體、顯示面板和光伏領(lǐng)域的關(guān)鍵核心材料，在政策支持和國產(chǎn)化替代的大背景下，行業(yè)前景廣闊。
靶材行業(yè)具有較高的行業(yè)壁壘，產(chǎn)業(yè)集中度較高。一方面，靶材制造工序繁多、技術(shù)難度高，生產(chǎn)過程涉及的核心技術(shù)包括金屬純度控制和提純技術(shù)、晶粒晶向控制技術(shù)、異種金屬大面積焊接技術(shù)等。
另一方面，靶材行業(yè)采取供應(yīng)商認(rèn)證機(jī)制，認(rèn)證周期較長，一般為 2-3 年。長期以來，全球的靶材市場主要集中在美國和日本的幾家龍頭企業(yè)，包括霍尼韋爾（美國）、日礦金屬（日本）、東曹日本）等。
我國的濺射靶材行業(yè)起步較晚，目前仍屬于新興行業(yè)，目前該領(lǐng)域的重點(diǎn)企業(yè)主要有江豐電子、隆華科技和阿石創(chuàng)等。據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院統(tǒng)計(jì)，2020 年我國靶材市場外資企業(yè)的占比高達(dá) 70%，江豐電子、隆華科技和阿石創(chuàng)等國內(nèi)企業(yè)市場份額較低，分別占比 3%、3%和1%。
近年來，國內(nèi)靶材行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)加大研發(fā)投入，正逐步突破關(guān)鍵技術(shù)門檻，部分產(chǎn)品也已投入規(guī)模化生產(chǎn)。例如，國產(chǎn)高純 Mo 靶材、ITO 靶材已實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，同時(shí)依靠國內(nèi)原材料高純鉬粉、高純銦等資源優(yōu)勢，已經(jīng)具備較強(qiáng)的產(chǎn)品競爭力。
在國家政策支持和靶材國產(chǎn)化替代訴求日益強(qiáng)烈的背景下，我國靶材市場規(guī)模實(shí)現(xiàn)了持續(xù)增長，自 2018 年到 2022 年，我國靶材市場規(guī)模由 243 億元增長至 395 億元，CAGR 為 12.91%。據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院測算，2023 年中國靶材市場規(guī)模將達(dá)到 431 億元，同比增長 9.11%。
從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和客戶結(jié)構(gòu)上看，江豐電子主要生產(chǎn)金屬材料的濺射靶材，下游客戶涵蓋半導(dǎo)體、顯示面板和太陽能企業(yè)；阿石創(chuàng)的主要產(chǎn)品為金屬靶材和化合物靶材，客戶主要為顯示面板和光學(xué)通訊行業(yè)；隆華科技的主要靶材產(chǎn)品為鉬靶材和 ITO 靶材，主要應(yīng)用于顯示面板領(lǐng)域，目前正逐漸布局光伏電池領(lǐng)域。
消費(fèi)電子拓展靶材市場空間
ITO 靶材是一種新型半導(dǎo)體氧化物陶瓷材料，是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過相應(yīng)的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)(1600°C,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。
ITO 靶材是半導(dǎo)體光伏、LCD/OLED 顯示器等領(lǐng)域核心原材料之一。它主要用于磁控濺射制備高性能 ITO 光電薄膜，在此過程中 ITO 薄膜以 ITO 靶材作為原材料，通過磁控濺射把 ITO 靶材氣化濺鍍到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上。
ITO 靶材上游主要原材料為金屬銦，其國內(nèi)儲(chǔ)量和價(jià)格是影響 ITO 靶材大規(guī)模生產(chǎn)和應(yīng)用的主要因素。國內(nèi)銦礦儲(chǔ)量有限，且銦價(jià)格存在波動(dòng)性。
ITO 靶材國產(chǎn)化替代需求強(qiáng)烈。據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示，2019 年，我國已成為 ITO 靶材需求大國，但大部分（約 52%）的 ITO 靶材供應(yīng)來自國外，國內(nèi)靶材廠商主要供應(yīng)中低端市場。當(dāng)前我國已成為全球最大的顯示面板生產(chǎn)基地，ITO 靶材國產(chǎn)化替代進(jìn)程將不斷加速。
ITO 靶材的兩大主流應(yīng)用場景為平板顯示和薄膜光伏電池領(lǐng)域。其中，平板顯示器用的靶材（FPD 靶材）的純度要求在 5N 左右，主要用于制作 ITO 玻璃和觸控屏電極平板，ITO 靶材在顯示靶材中占比將近 50%。
薄膜太陽能電池用的ITO 靶材純度要求為 4N 左右，主要用于光伏薄膜電池的背電極，該領(lǐng)域使用的主要是方形板狀靶材；異質(zhì)結(jié)電池在制備 TCO 導(dǎo)電膜時(shí)主要采用 ITO 靶材。
平板顯示器主要在顯示面板和觸控屏面板兩個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié)使用濺射靶材，主要包括鉬靶、鋁靶、鋁合金靶、鉻靶、銅靶、銅合金靶、硅靶、鈦靶、鈮靶和ITO 靶材。顯示面板市場主要分為 LCD 和 OLED 面板市場。顯示面板國產(chǎn)替代化進(jìn)程加快，國內(nèi)顯示面板市場規(guī)模快速擴(kuò)大，將帶動(dòng)上游靶材行業(yè)的發(fā)展。
LCD 面板在顯示面板市場中占主導(dǎo)地位，主要應(yīng)用在電視、筆記本電腦等大尺寸屏幕顯示領(lǐng)域。近年來，國內(nèi)廠商京東方、TCL 華星等產(chǎn)能不斷釋放，逐漸在 LCD 行業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位，顯示面板國產(chǎn)化替代趨勢明顯。
2020 年國內(nèi)LCD 面板出貨量 89.9 百萬平方米，預(yù)計(jì) 2025 年將達(dá)到 115.1 百萬平方米，2020-2025 年出貨量 CAGR 為 5.07%。
OLED 面板的柔性特質(zhì)能夠滿足曲面和折疊屏的需求，被廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)和智能穿戴等消費(fèi)電子領(lǐng)域，其市場滲透率正處于快速提升的階段。2020 年國內(nèi) OLED 面板出貨量為 1.2 百萬平方米，預(yù)計(jì)到 2025 年將達(dá)到 6.1 百萬平方米， 2020-2025 年出貨量 CAGR 為 38.43%。
隨著宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境好轉(zhuǎn)，智能手機(jī)行業(yè)有望回暖。2022 年，憑借其創(chuàng)新性形態(tài)和沉浸式大屏體驗(yàn)，折疊屏手機(jī)實(shí)現(xiàn)了 154.40%的高增長率，隨著國內(nèi)廠商的陸續(xù)入局和產(chǎn)品迭代，預(yù)計(jì)未來將會(huì)持續(xù)保持較高的增長率。
消費(fèi)電子行業(yè)回暖有利于上游顯示面板和靶材行業(yè)的業(yè)務(wù)增長。OLED 面板因其柔性特質(zhì)能夠滿足折疊屏電子產(chǎn)品的生產(chǎn)需求，隨著折疊屏手機(jī)出貨量的上升，OLED 面板市場滲透率預(yù)計(jì)會(huì)快速上升，拓展平板顯示用靶材的市場空間。
ITO是HJT光伏電池生產(chǎn)主流靶材
在“碳達(dá)峰/碳中和”目標(biāo)、清潔能源轉(zhuǎn)型等因素的推動(dòng)下，光伏發(fā)電將逐漸取代傳統(tǒng)化石能源，未來發(fā)展?jié)摿薮蟆?019 年至 2021 年，中國光伏發(fā)電量由 2243 億千瓦時(shí)增加至 3259 億千瓦時(shí)，CAGR 為 20.54%，預(yù)計(jì) 2023 年將達(dá)4206 億千瓦時(shí)。
光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動(dòng)光伏電池產(chǎn)量增長，2019 年-2021 年國內(nèi)光伏電池產(chǎn)量分別為 12862.1、15728.6 和 23405.4 萬千瓦時(shí)，CAGR 為 34.90%，預(yù)計(jì) 2023 年將上升至 44484.1 萬千瓦時(shí)。
光伏電池可分為晶體硅光伏電池和薄膜光伏電池兩大類。其中，晶體硅光伏電池占據(jù)光伏電池市場主導(dǎo)地位，較少使用濺射靶材；薄膜光伏電池常用的靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶、ITO 靶 和 AZO 靶等。目前，HJT 電池和鈣鈦礦電池都是第三代光伏電池具有潛力的競爭者。
HJT電池全稱為晶體硅異質(zhì)結(jié)太陽電池，由晶硅材料和非晶材料形成，在晶體硅上形成非晶體薄膜，并通過特殊技術(shù)讓 P 型和 N 型半導(dǎo)體構(gòu)成特殊的 PN 結(jié)，屬于 N 型電池的一種。
異質(zhì)結(jié)電池是一種高效晶硅太陽能電池結(jié)構(gòu)，利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，即在 P 型氫化非晶硅和 N 型氫化非晶硅與 N 型硅襯底之間增加一層非摻雜（本征）氫化非晶硅薄膜。
ITO 靶材是目前 HJT 光伏電池生產(chǎn)的主流靶材。HJT 電池行業(yè)上游原材料包括硅、銀漿、靶材等;中游主要為電池片的生產(chǎn)制造，主要流程包括清洗制絨、正反面沉積非晶硅薄膜，正反面沉積 TCO 薄膜、絲網(wǎng)印刷、低溫固化等。
下游為光伏組件行業(yè)。HJT 技術(shù)路線因?qū)щ娦詥栴}，引入了透明導(dǎo)電薄膜（TCO），TCO 膜通常使用 ITO（氧化銦錫）進(jìn)行制備，原材料為稀有金屬銦，但由于銦是伴生礦，產(chǎn)量彈性小且價(jià)格高，因此，制作 HJT 電池的靶材成本占比相對較高，約為 1%。
鈣鈦礦(CaTiO3)是于 1839 年發(fā)現(xiàn)的一種新礦石,為了紀(jì)念地質(zhì)學(xué)家 L A Perovskite,將其命名為 Perovskite,中文名稱為鈣鈦礦。隨后，與 CaTiO3 晶體結(jié)構(gòu)類似的化合物都統(tǒng)稱為鈣鈦礦,以 ABX3 形式表示。
鈣鈦礦光伏成本中靶材成本占比較大。根據(jù)協(xié)鑫光電的數(shù)據(jù)，鈣鈦礦組件中靶材、玻璃等成本占比達(dá) 30%以上，而在 2022 年 HJT 電池成本構(gòu)成中，靶材成本占比約為 1%。相比于晶硅技術(shù)路線，鈣鈦礦技術(shù)中的靶材價(jià)值量進(jìn)一步提升。鈣鈦礦電池中 ITO 導(dǎo)電玻璃、空穴傳輸層、電子傳輸層、金屬背電極的制作均會(huì)用到各類靶材。
由于鈣鈦礦電池具備制備成本低、光電轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)勢，被認(rèn)為是未來最具產(chǎn)業(yè)化前景的新型薄膜太陽能電池。隨著鈣鈦礦電池技術(shù)不斷優(yōu)化以及相關(guān)企業(yè)加大產(chǎn)能布局，CPIA 預(yù)計(jì) 2023 年鈣鈦礦電池新增產(chǎn)能將達(dá) 0.5GW，2030年將快速增長至 161GW。同時(shí)，鈣鈦礦電池的市場滲透率也將迅速提升，預(yù)計(jì)2023年鈣鈦礦電池滲透率將達(dá)到 0.2%，2030 年將增長至 30%。
