在第三代半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，晶盛機(jī)電(300316)又一次取得重要技術(shù)突破。
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6月27日該公司官微顯示，已于近日成功研發(fā)出具有國際先進(jìn)水平的8英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備，引領(lǐng)國內(nèi)碳化硅行業(yè)技術(shù)升級。
晶盛機(jī)電表示，此次8英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備的成功研發(fā)，標(biāo)志著公司在碳化硅行業(yè)的技術(shù)研發(fā)能力邁上了新臺階，為國內(nèi)碳化硅行業(yè)技術(shù)、產(chǎn)能升級提供了充分的設(shè)備保障。此前，晶盛機(jī)電已成功開發(fā)了6英寸碳化硅外延設(shè)備，技術(shù)性能和市占率均居國內(nèi)前列。
據(jù)悉，相比于6英寸，8英寸碳化硅晶圓的邊緣損耗更小、可利用面積更大，未來通過產(chǎn)量和規(guī)模效益的提升，成本有望降低60%以上。而8英寸單片式碳化硅外延設(shè)備，可兼容6、8寸碳化硅外延生產(chǎn)，在6英寸外延設(shè)備原有的溫度高精度閉環(huán)控制、工藝氣體精確分流控制等技術(shù)基礎(chǔ)上，解決了腔體設(shè)計中的溫場均勻性、流場均勻性等控制難題，實現(xiàn)了成熟穩(wěn)定的8英寸碳化硅外延工藝。
在半導(dǎo)體材料設(shè)備領(lǐng)域，晶盛機(jī)電憑借持續(xù)多年的科研創(chuàng)新，積累了先進(jìn)技術(shù)優(yōu)勢。2022年報顯示，公司已掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅襯底技術(shù)和工藝，并建設(shè)了6-8英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環(huán)節(jié)的研發(fā)實驗線，通過持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和工藝積累，逐步實現(xiàn)大尺寸碳化硅晶體生長和加工技術(shù)的自主可控。
目前，晶盛機(jī)電子公司晶瑞電子的8英寸襯底基礎(chǔ)上，已實現(xiàn)8英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備的自主研發(fā)與調(diào)試，外延的厚度均勻性1.5%以內(nèi)、摻雜均勻性4%以內(nèi)，已達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。晶盛機(jī)電指出，公司研發(fā)出的8英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備，可為行業(yè)提供更為先進(jìn)的技術(shù)支持，推動碳化硅行業(yè)的快速發(fā)展。
作為第三代半導(dǎo)體材料，碳化硅具有耐高溫、高電壓、高頻率、高功率等優(yōu)良性能，被廣泛應(yīng)用于電力、通信、光電、新能源等領(lǐng)域。據(jù)Yole預(yù)測，2022年全球碳化硅市場規(guī)模或?qū)⑦_(dá)15.34億美元，同比增長40.72%，預(yù)計到2027年市場規(guī)模可達(dá)62.97億美元，2021—2027年復(fù)合增速超30%。
去年，晶盛機(jī)電實現(xiàn)營業(yè)收入106.38億元，同比增長78.45%；實現(xiàn)凈利潤29.24億元，同比增長70.8%。業(yè)績增長的原因就包括公司半導(dǎo)體裝備訂單量實現(xiàn)同比快速增長；加速第三代半導(dǎo)體材料的布局，實現(xiàn)大尺寸碳化硅晶體制備的重大突破。
晶盛機(jī)電表示，未來，公司將繼續(xù)秉持“打造半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)，發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)”的使命，持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā)投入，為碳化硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和科技進(jìn)步不懈努力。同時，公司將積極推進(jìn)綠色智能制造，努力實現(xiàn)生產(chǎn)過程的數(shù)字化、智能化和綠色化，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，為社會創(chuàng)造價值。
（文章來源：證券時報·e公司）
